以至
(yǐ zhì)
:
连词。①表示时间、数量、程度、范围等的延伸：循环往复以至无穷｜自王公卿相以至工艺杂流，凡有名者，往往留像于馆。
②用于下半句开头，表示上述情况所达到的深度或结果：埋头思索，以至忘记了下班。
以致
(yǐ zhì)
:
连词。用在下半句的开头，表示下文是上述情况造成的结果，多指不好的：事先没有充分研究，以致作出了错误决定｜乃陷大泽中，以致汉追及之。
甚至
(shèn zhì)
:
也作“甚或”。①连词。用在并列词语最后一项之前，表示突出这一项：对于这个问题，好些人还不完全理解，甚至完全不理解。
②副词。强调突出的事例：这个古字甚至字典上也查不到。